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電子與半導(dǎo)體工業(yè)超純水成套設(shè)備

  電子工業(yè)純水系統(tǒng)從純水制備、純水輸送與分配、純水回收三個部分組成完整的現(xiàn)代電子工業(yè)出水系統(tǒng)。

電子與半導(dǎo)體材料和器件制造中,需要大量幾乎接近理論程度的18+兆歐-厘米超純水。需要復(fù)雜的工藝過程和控制方案??菩撬幚碚莆樟讼嚓P(guān)的核心技術(shù)和工程訣竅,已提供了150多套系統(tǒng)正服務(wù)于著名公司中。

    200-1000LPH標(biāo)準(zhǔn)18+兆歐-厘米超純水裝置,采用集成膜技術(shù)與拋光混床相結(jié)合工藝,一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計方案,廣泛應(yīng)用于中心實驗室和中試批量生產(chǎn)中;客戶特制型超純水系統(tǒng)的最大產(chǎn)水量可達(dá)到200 M3/H,水質(zhì)符合美國ASTM 電子一級超純水標(biāo)準(zhǔn)。

 

單項目裝置規(guī)模: 15000m3/d

 


其他應(yīng)用領(lǐng)域

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